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液氮在半导体制造上的应用

发布日期： 2024-03-12 内容来源于： http://www.szwdj.com.cn/

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(1)在氧化、扩散等制造工艺过程中，设置液氮冷阱来去除气体中的水分。

(2)在扫描电子显微镜中，检测信号用的Si-Li探测器，必须一刻不离地采用液氮来冷却。

(3)有时为了检测元器件受冷热循环作用的影响效果，可采用液氮。

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